?潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱核心參數與技術特性?

?溫度范圍?：RT+20~200/400℃，控溫精度±0.5℃，支持快速升溫（>6℃/min）?

?潔凈等級?：Class 10~100級（百級潔凈度過濾效率達99.99%），內腔采用304、316L不銹鋼材質，密封防塵設計?

?氮氣保護?：充氮純度≥99.999%，氧含量可低至10ppm以下，氮氣壓力調節范圍0.01~0.60MPa?

?定制化配置?：支持雙箱獨立控制、可視化窗口（可選）、不銹鋼網板分層（可活動抽取）?

?二、產品結構與功能設計?

?箱體構造?

外箱：防塵烤漆處理（冷軋鋼板），或304、316L不銹鋼材質，耐高溫密封條?

保溫層：高密度陶瓷纖維，熱能損耗降低30%?

?加熱與控溫系統?

加熱方式：覆套式無塵電熱器，均勻加熱，支持觸摸屏程序控溫?

循環風道：水平送風+HEPA高效過濾，快速降溫排氣口自動風門設計?

?智能控制?：支持MES等自動化通信端口，

      內置計時報警功能，

      氧含量實時監測（氧化鋯分析儀）?

潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應用場景與解決方案?

?半導體行業?：晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化（如PI/BCB/PBO涂層）/晶圓退火、電子元器件制造（前烘、堅膜、墨點烘烤、備件烘烤等），減少微塵污染90%

?新能源領域?：鋰電池材料高溫干燥，氮氣防氧化保護?、新能源材料企業

?醫療與科研?：生物醫藥實驗室，無菌實驗設備干燥、無氧環境樣品處理（符合ISO9001標準）?

?四、服務與保障?

?售后支持?：提供設備調試、技術培訓，終身維護

?質量認證?：執行CE、ISO9001/SEMI S2等標準

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