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產(chǎn)品中心
P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY
電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個(gè)工藝中晶圓烘烤工藝也很重要，且需要多次烘烤。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-09-16訪 問 量：2788
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電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱的應(yīng)用：
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個(gè)工藝中晶圓烘烤工藝也很重要，且需要多次烘烤。
電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱的組成：
烘烤工作室：需烘烤的產(chǎn)品放置區(qū)；
潔凈室：高效過濾器凈化工作室內(nèi)空氣，達(dá)到class100潔凈度；
控制部分：溫度、時(shí)間、記錄、溫度檢測、烤箱開關(guān)等操作區(qū)；
電器箱：無塵烤箱電器部分，電子元件等安裝區(qū)；
其他：氮?dú)饨涌冢棚L(fēng)閥門，掃碼槍等。
電子無塵烤箱技術(shù)性能：
溫度范圍：RT+10～200、300/450℃；
升溫速率：≥5℃/min（可定制）；
溫度均勻度：±1.5%℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5；
溫控精度：0.1℃;
時(shí)間設(shè)定范圍：0.1S-9999H；
內(nèi)腔數(shù)量：單腔，上下層雙腔體，四腔體等；
腔內(nèi)分層：2層或多層
內(nèi)箱材料:SUS304鏡面不銹鋼制作；
外箱材料：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或#304鏡面不銹鋼制作；
密封材料：密封條采用硅膠膠條制作，可耐溫不變形，；
保溫材料；阻燃陶瓷纖維。
外殼溫度：在 200℃以內(nèi)，不高于室溫+15℃，門周邊接接縫處除外。
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