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電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個(gè)工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。
產(chǎn)品型號(hào):
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間:2025-09-16
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電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱的應(yīng)用:
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個(gè)工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。
電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱的組成:
烘烤工作室:需烘烤的產(chǎn)品放置區(qū);
潔凈室:高效過濾器凈化工作室內(nèi)空氣,達(dá)到class100潔凈度;
控制部分:溫度、時(shí)間、記錄、溫度檢測、烤箱開關(guān)等操作區(qū);
電器箱:無塵烤箱電器部分,電子元件等安裝區(qū);
其他:氮?dú)饨涌冢棚L(fēng)閥門,掃碼槍等。
電子無塵烤箱技術(shù)性能:
溫度范圍:RT+10~200、300/450℃;
升溫速率:≥5℃/min(可定制);
溫度均勻度:±1.5%℃;
溫度波動(dòng)度:±0.5;
溫控精度:0.1℃;
時(shí)間設(shè)定范圍:0.1S-9999H;
內(nèi)腔數(shù)量:單腔,上下層雙腔體,四腔體等;
腔內(nèi)分層:2層或多層
內(nèi)箱材料:SUS304鏡面不銹鋼制作;
外箱材料:優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或#304鏡面不銹鋼制作;
密封材料:密封條采用硅膠膠條制作,可耐溫不變形,;
保溫材料;阻燃陶瓷纖維。
外殼溫度:在 200℃以內(nèi),不高于室溫+15℃,門周邊接接縫處除外。

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