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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備

檢測(cè)設(shè)備高精度恒溫?zé)岚?/a> 高低溫測(cè)試儀快速退火爐刻蝕機(jī) 馬弗爐防潮箱潔凈烘箱無氧烘箱無塵烘箱固化烤箱氮?dú)?充氮烘箱真空烤箱潔凈烤箱

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半導(dǎo)體烤箱，wafer烤箱電子行業(yè)專用儀器

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更新日期
2025-09-16

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生產(chǎn)廠家

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晶圓烤箱，超潔凈烤箱

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堅(jiān)膜烘箱，真空?qǐng)?jiān)膜烤箱

堅(jiān)膜烘箱，真空?qǐng)?jiān)膜烤箱用于半導(dǎo)體制造中半導(dǎo)體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅(jiān)膜烘烤；也適用于涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

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LED氣相成底膜處理系統(tǒng)

LED氣相成底膜處理系統(tǒng)，氣相成底膜真空烘箱在將晶片用濕法清洗臟污后甩干,為了增強(qiáng)晶片與光刻膠之間的黏附性,用六甲基二硅胺烷（HMDS）做成底膜處理。目前在LED芯片制造中用HMDS成膜處理一般是在一個(gè)集脫水烘焙和氣相成膜兩種作用的真空腔中進(jìn)行,這種方法可以實(shí)現(xiàn)批量處理。

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